超純水制備的工藝流程主要包括以下幾個步驟：

原水處理：原水可以是自來水、普通蒸餾水或普通去離子水。
預處理系統：包括原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統。
雙級反滲透系統：通過保安過濾器、RO高壓泵和反滲透系統，反滲透膜可以濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。
EDI系統：通過除去電解質（包括弱電解質）的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。
拋光樹脂：使用無化學析出的核子級樹脂去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ·cm以上。
終端超濾：有效地去除水中的微粒、膠體、細菌、熱源和有機物，確保產出的高純水不受二次污染。
這一系列步驟確保了超純水的制備，其中EDI超純水設備在行業內競爭非常激烈，國產超純水設備同樣能夠做到出水質量的高純度。滲透/電去離子（RO/EDI）集成膜技術是近年來迅速發展成熟，并得到大規模工業應用的最新一代超純水制造技術，在國際上已逐漸成為純水技術的主流。